Clean Dryer Air System이란 압축공기 중에 포함되는 먼지, 유분, 수분 등의 오염물질 (Contamination)을 요구정도에 기초한 기준값내로 제거해서 최적의 압축공기를 공급하는 기기다.
압축공기 중의 오염물질이 부적정한 상태로 공급하면 공기압 기기의 작동 불량이나 신뢰성, 내구성에 큰 영향을 주거나, 제품이나 인체 등을 오염시키게 되므로, 사용되는 압축 공기의 품질은 시스템이나 기기의 사용 목적, 성질, 기능에 적합한 것이어야 한다.
반도체 생산 장비에 N2와 함께 가장 많이 사용되며 각 생산장비의 A.A.V(Auto Air Valve)동작 및 전송 장치 기타 공압기에 이용된다. 또한 밸브를 조절할 목적으로 사용하며 각 장비 내에 다목적으로 사용되는 밸브등은 공기에 의해 자동으로 조절 되도록 한다.
Compressor의 토출 및 사용용량은 공기사용량에 적합하게 선정하며, Air Receiver Tank는 일정한 압력의 흐름을 유지하기 위해 설치한다.
필터는 시스템 요구에 맞춰 순차적으로 파티클을 제거하며 여러 번에 걸쳐 필터링하는 것이 효과적이다.
Air Dryer는 냉동식과 흡착식의 종류가 있으며 온도와 포화수증기량이 비례한다는 점을 이용해 온도를 낮추어 수분을 제거하고, 흡착식은 흡착제를 이용하여 공기중의 수분을 제거한다 이때 흡착제는 Silicagel, Activated Alumina, Molecular Sieves등을 사용하며 Activated Alumina를 가장 널리 사용한다.
Soma Tower는 충돌 및 흡착의 원리를 응용한 것으로 공기에 비해 높은 밀도와 관성을 가진 유분을 제거한다.
Clean Dryer Air System 구성도
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