생산 설비에서 Chemical과 함께 쓰여진 초순수는 Chemical종류와 세정방법에 따라 Acid Waste Water, Alkali Waste Water, Fluorine Waste Water, Neutral Waste Water로 구분되어 전 공정에서 배출된다. 생산 설비에서 각 폐수별로 Tank에 유입되는 세정수는 전도율의 감지에 따라 자동 조절 밸브에 의해 산폐수 탱크 및 중성폐수로 선택되어 집수 된다. 각 탱크마다 레벨 스위치가 부착되어 펌프는 자동 개폐되며 폐수처리장으로 공급하고 현상액, 유기용제, 비소폐액은 별도 탱크 로리에 의해 처리한다. 산, 알카리, 프로린, 중성로 구분하여 집수된 폐수들은 균일하게 혼합되어 물리, 화학적 폐수처리를 통하여 완전 처리하게 된다.
Waste Water Treatment System 구성도
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