Special Process Gas Supply System

크린룸에서 사용하는 Special Process Gas는 종류에 따라 가연성, 독성, 자연발화성, 부식성 등의 성분이 매우 강하며 허용량이 PPM이하에서 치사량을 갖는 맹독성의 Gas 가 대부분이기 때문에 운송, 보관, 취급, 교환 등에 주의가 필요하다.
Special Process Gas는 Cylinder Cabinet을 사용하는데 사용처까지 최소거리를 유지하도록 하여야 하며, Gas Detector, Alarm, 자동 차단장치, 자동 개.폐장치, 상시 및 긴급배기 장치, 소방장치 등의 Safety System으로 구성된다.
Special Process Gas 사용 후 Waste Gas에 대한 Safety System을 구성하여야 하며, 제거 방법 및 대상 Gas에 따라 Wet Type 또는 Dryer Type을 사용한다.
Special Process Gas의 설계시 안정성과 작업성을 고려하여 Cylinder Cabinet 1대에 생산장비 1대가 설치되는 것을 원칙으로 하며, 수용 및 점검이 용이하도록 하여야 한다

Special Process Gas Supply System 구성도