O₂& Ar Gas Supply System

O₂& Ar Gas 공급 공정은 일반적으로 Liquid 탱크를 갖추고 상설 가스 공급사로부터 Liquid를 공급받아 기화시켜 사용한다. 그 구체적인 공급 구성은 Liquid Gas Tank, Vaporizer, Gas Purifier, Flow meter, Filter, 주관, 횡지관, 지관 및 주장비 연결로 이루어져 있다.
각 기기의 설명은 N₂ Gas Supply System과 동일하다.

O₂& Ar Gas Supply System 구성도