Process Cooling Water System

Process Cooling Water System은 18℃의 고순도 냉각수를 Circulation하는 시스템으로 잠시도 공급중단 되어서는 안 되는 중요한 유틸리티이다. 생산설비마다 요구하는 수압이 각각 상이하여 고압(H.P)과 저압(L.P)으로 대별하여 운용하고 있다. 고압 및 저압 냉각수 프로세스는 크린룸 사용장비만 사용하고 공정은 동일하게 되어 있으며 각 생산장비에 공급된 냉각수는 장비의 열을 회수한 후 23℃로 배출되며 Circulation Pump에 의해 고압계통 4-6kg/㎠, Ion Implanter 계통 5kg/㎠, 저압계통 1-3kg/㎠, Furnace 계통 3kg/㎠으로 압력을 조절한 후 Heat Exchanger를 통과하여 18℃로 공급되어 진다. 또한 냉각수내의 Particle을 완전제거 하기 위하여 5 Micron Filter를 통과한 후 각 생산장비에 공급되며 Supply, Return Line에 일정한 차압을 주기 위하여 Pressure Control Valve(PCV)를 설치하여, 고압(5kg/㎠)및 저압(3kg/㎠)으로 조절한다. Process Cooling Water 공급수는, 배관내의 Scale 발생을 방지하기 위하여 DI Concentrate Water를 사용하며, 비 저항치를 측정하여 Blow-Down 및 보충수를 공급하도록 되어 있다.

Process Cooling Water System 구성도