Waste Gas Treatment System

Waste gas Treatment System이란 생산장비에서 발생하는 각종 오염된 공기를 규정된 규제치 이내로 처리한 후 실외로 배출시키는 시스템을 말한다. 정상적인 조업의 여건조성과 인체유해 및 화재를 방지하기 위하여 설치되며, 사용 Chemical 종류에 따라 유기용제 배기시스템, 산/알카리 배기 시스템, 열/일반배기 시스템, 비상 배기 시스템으로 구분하여 설치한다. 1차 처리장치(Toxic Gas Scrubber)는 디바이스 생산과정에서 발생된 각종 유해가스를 1차로 Fab내에서 처리하는 장치로서, 디바이스 제조 프로세스에 따라 그 특성에 가장 적합한 생산 전압을 지원하고, 미반응 Toxic 개스의 중화처리 및 폭발 확산을 방지하는 기능을 한다. Wet Scrubber(Acid. Alkali Scrubber)는 생산장비 및1차 처리장치에서 배출되는 오염개스 를 흡입하여 Scrubber내부에서 액체와 표면 접촉시켜 정화하는 시스템을 말하며, V.O.C Scrubber(Volatile Organic Compound Scrubber)는 생산장비에서 배출되는 오염개스 를 흡입하여 800℃에 가까운 고열로 산화작용을 일으켜 V.O.C를 제거하는 시스템이다.

Waste Gas Treatment System 구성도